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- 靶材的主要性能要求杂质含量 靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。
不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。
例如,靶材厂家,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
Ag及Ag合金靶材 Ag靶材主要应用于光盘介质的反射膜;STN液晶显示装置或有机EL显示装置等的光反射性薄膜。
在Ag合金中添加少量的In、Sn、Zn或Au、Pd、Pt,或根据情况添加少量的Cu,可将低溅射靶材电阻,提高靶材图案形成性、耐热性、反射率和耐硫化性等。
众诚达主要经营:溅射靶材、靶材、铬靶、硅靶、铜靶 、钨鉬、钛铝靶 。
薄膜的纯度与靶材的纯度关 系**大,靶材,过去99.995 %(4 N5) 纯度的铜靶,靶材定制,或许能够满 足半导体厂商0.3 5pm 工艺的需求,但是却无法满 足 目前0.2 5um的工艺要求, 而未米的 0.18um 工艺甚至0.13m工艺,镍铂靶材,所需要的靶材纯度将要求达 到5甚至 6N以上。
铜与铝相比较,铜具有更高的抗电迁移能力及更 低的电阻率,能够满足! 靶材、众诚达应用材料公司、靶材厂家由深圳市众诚达应用材料科技有限公司提供。
“溅射靶材,真空镀膜靶材,金属靶材,合金靶材,陶瓷靶材,”就选深圳市众诚达应用材料科技有限公司(www.apgtarget.com),公司位于:深圳市宝安区公明街道上村莲塘工业城C区39栋,多年来,众诚达应用材料公司坚持为客户提供*的服务,联系人:涂先生。
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