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  • 合金靶材_锆钛合金靶材_众诚达应用材料公司(优质商家)
  • 靶材的主要性能要求杂质含量   靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。

    不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。

    例如,锆钛合金靶材,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

    靶材种类1、金属靶材铜靶,镍靶,银靶,金靶等2、陶瓷靶材氮化硼靶,合金靶材,氮化钛靶,钛钨合金靶材,碳化硅靶,铌酸锂靶、钛酸镨靶、钛酸钡靶、钛酸镧靶、氧化镍靶等3、合金靶材铁钴靶FeCo、铝硅靶AlSi、钛硅靶TiSi、铬硅靶CrSi、锌铝靶ZnAl、钛锌靶材TiZn等靶材的主要性能要求纯度   纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。

    不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。

    例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”,镍钒合金靶材, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。

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